Überprüfung ausgewählter Größen auf Einhaltung vorgegebener Werte, Wertebereiche oder Schaltzustände. Die zu überwachenden Größen können direkt gemessen oder das Ergebnis einer Auswertung sein (DIN 19 222).
Dieses Überwachen kann durch periodische Inspektionen erfolgen oder durch laufende Beobachtungen, wobei zunehmend ein Rechner eingesetzt wird, in dem man den Sollzustand ablegt und der dann durch Vergleiche mit den Istwerten eine Bewertung des Zustandes abgibt (Bild U 12). Damit wird das Überwachen zur Voraussetzung für eine Schadensfrüherkennung.
Abbildung U 12: Vorgehensweise bei mehrdimensionaler Überwachung