Elektrisch durch Schrittmotor oder seltener Gleichspannungsmotor angesteuerter Hydrozylinder mit integriertem Steuerteil (Nachlaufregelventil) und mechanischer Rückführung über Spindel oder Zahnstange, die integriert oder extern angebaut sein können. Regelventil (ein Vierkantenventil) und Kolben bilden so ein hochgenaues Nachlaufsystem, das digital angesteuert werden kann (Bild E 21).
Jede Geschwindigkeits- oder Richtungsänderung des Ansteuermotors führt zu einer entsprechenden Änderung der Kolbengeschwindigkeit (Steuerung von Eilgang und Arbeitsgeschwindigkeit), während die Anzahl der Schritte die Position festlegen. Mit solchen elektrohydraulischen Linearverstärkern können Positionsgenauigkeiten zwischen 0,002 und 0,01 mm erreicht werden.
Abbildung E 21: Blockschaltbild (a) und Prinzip (b) des Linearverstärkers