Veränderung des spezifischen Widerstandes eines Metalls bei mechanischer Beanspruchung (vorwiegend Dehnung).
Der piezoresistive Effekt tritt bei allen Metallen (auch bei metallischen DMS) auf, ganz besonders stark jedoch bei Halbleitern, die daher die Basis für die Halbleiter-DMS bilden. Hier hängt die Größe des piezoresistiven Effekts von der Dotierung (Art, Dichte und Verteilung von Fremdatomen) und von der Richtung der Si-Kristalle und ihrer Deformation ab.