Bei der Wegmessung mit Ultraschall (US) wird ein US-Signal ausgesendet, das von dem sich bewegenden Körper reflektiert wird. Die dabei gemessene Laufzeit des Signals ist proportional dem zurückgelegten Weg.
Man unterscheidet zwischen direkter US-Messung, die relativ ungenau ist (±0,1 mm), aber Längen bis 5 m messen kann und der US-Messung mit magnetostriktivem Wellenleiter (Bild U 13). Hier laufen Stromimpulse auf dem Wellenleiter, deren Magnetfeld mit einem Dauermagneten am bewegten Teil zusammentrifft und dabei ein US-Signal aussendet, dessen Laufzeit wieder gemessen wird. Das Verfahren ist wesentlich genauer und für Längen bis ca. 2 m geeignet. Es hat eine theoretisch unendliche Auflösung und ist für hohe Verstellgeschwindigkeiten geeignet. Beide Verfahren zählen zu den digitalen Messverfahren und sind gut geeignet zur Integration in Zylinder.
Abbildung U 13: Ultraschall-Wegmessung; Magnetostriktion (oben), Sender und Empfänger (unten)