, der auf dem piezoresistiven Effekt von Halbleitern bei mechanischer Beanspruchung beruht. Hierbei ergibt sich neben der Abhängigkeit des Messwertes von der Dehnung eine starke Abhängigkeit von der Temperatur.
Das Messgitter besteht aus einem wenige Zehntel mm breiten und wenige Hundertstel mm dicken Halbleiterstreifen, der auf einem Träger aufgebracht ist, der — wie der metallische DMS — auf den Sensorkörper aufgeklebt wird (Bild H 3).
Die Dehnempfindlichkeit des Halbleiter-DMS ist um den Faktor 25 bis 50 größer als die der metallischen DMS — allerdings auch gleichzeitig die Störempfindlichkeit, so dass sich die Halbleiter-DMS nicht in dem erhofften Maß durchsetzen konnten.
Abbildung H 3: Halbleiter-DMS