Teilbereich der Diagnosetechnik, bei dem ein elektronisches System, z. B. eine Steuerung oder ein Messsystem, über (meist vorhandene) Mikroprozessoren Simulation regeneriert, mit denen die Signalverarbeitung überprüft wird. Im Fehlerfall wird ein Funktionsalarm gegeben, der vom Mikroprozessor analysiert und gemeldet wird.
Die Selbstüberwachung ist erreichbar durch entsprechende Sensoren in der Signalverarbeitung, durch Methoden der Plausibilitätsprüfung, die zeigt, ob ein Signal innerhalb eines vorgegebenen Bereiches liegt oder durch analytische Redundanz. Damit bezeichnet man eine Konstellation, die Fehlermeldungen einzelner Sensoren erkennt, sie isoliert und ihre Signale durch Schätzwerte ersetzen kann.
In der Messtechnik kann die Selbstüberwachung dadurch erreicht werden, dass man die Messeinrichtung zu einem erweitert, wodurch sie die Eigenschaften eines adaptiven Systems erhält, das auch Störeinflüsse während des Betriebs ausregeln kann.