Man unterscheidet zwischen analogen und digitalen Verfahren (Bild W 6). Unter den analogen Wegmessverfahren dominiert die Widerstands-Wegmessung (m. Potentiometer) für Längen bis ca. 1 m und die induktive Wegmessung für Längen bis ca. 500 mm. Dagegen hat die kapazitive Wegmessung nur für sehr kleine Wege Bedeutung.
Die digitalen Wegmessverfahren arbeiten entweder mit codierten Linealen oder mit Ultraschall. Bei den Verfahren mit Linealen (z. B. Glasmaßstäbe) unterscheidet man zwischen inkrementalen und digital-absoluten Systemen.
Für Zylinderantriebe mit Wegmessung sind die in den Zylinder integrierbaren Verfahren besonders interessant, da damit viele Schwierigkeiten beim Einbau des Messsystems in den Arbeitsraum beseitigt werden. Dafür sind besonders die druckdichten Ausführungen der induktiven und der Widerstandsaufnehmer sowie die Ultraschallverfahren geeignet.
Abbildung W 6: Ordnung der Weg- und Winkelmeßverfahren