Druckaufnehmer nach dem piezorestiven Effekt, wobei durch Druck eine elastische Halbleiterstruktur verändert und damit die Werte der Widerstände verändert werden, die als Wheatstone-Brücke geschaltet sind (Bild P 8). Es werden zwei Arten von piezoresistiven Druckaufnehmern gefertigt:
- auf Edelstahlmembranen aufgeklebte Siliziumwiderstände und
- in die Oberfläche einer Siliziummembran eingebrachte Widerstände.
Darüber hinaus muss unterschieden werden in:
- monolithische Sensoren, die nur mit einer Widerstandsbrücke versehen sind;
- Sensoren mit Temperaturkompensation;
- Sensoren mit Ausgangsverstärker
Abbildung P 8: Piezoresistive Druckaufnehmer